Физический факультет ННГУ
Вход Регистрация Карта сайта Форум
Программа дисциплины

Методы диагностики и анализа микро- и наносистем

магистратура

11.04.04 Электроника и наноэлектроника (наноэлектроника; микро- и наноэлектроника)

Материалы лекций (рисунки, графики, таблицы)
Рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия
Растровая электронная микроскопия
Вопросы к экзамену. Ссылки на литературу. Дополнительные материалы.
Ссылки на литературу доступно только из локальной сети физического факультета и НИФТИ ННГУ!
Лабораторные работы. Весенний семестр (2017)
Лабораторные работы
1. "Математическая обработка и качественный химический анализ в методе рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии"
2. "Локальный анализ методом сканирующей оже-микроскопии"
3. "Профилирование состава твердотельных структур по глубине методами электронной спектроскопии с ионным распылением"
4. "Калибровка растрового электронного микроскопа"
Варианты заданий
 
603950, Нижний Новгород, пр. Гагарина, 23, корп.3,
тел. (831) 462-33-02. e-mail: dekanat@phys.unn.ru

Яндекс цитирования Rambler's Top100